- Main
- Physics - Optics
- Optical Lithography: Here is Why (SPIE...
Optical Lithography: Here is Why (SPIE Press Monograph Vol. PM190)
Burn J. LinНаскільки Вам сподобалась ця книга?
Яка якість завантаженого файлу?
Скачайте книгу, щоб оцінити її якість
Яка якість скачаних файлів?
This book is aimed at new and experienced engineers, technology managers, and senior technicians who want to enrich their understanding of the image formation physics of a lithographic system. Readers will gain knowledge of the basic equations and constants that drive optical lithography, learn the basics of exposure systems and image formation, and come away with a full understanding of system components, processing, and optimization. Readers will also get a primer on the outlook of optical lithography and the many next-generation technologies that may greatly enhance semiconductor manufacturing in the near future. Topics include:- Exposure Systems- Image Formation- The Meter of Lithography- Components in Optical Lithography- Processing and Optimization- Immersion Lithography- Outlook for optical lithography
Категорії:
Рік:
2009
Видавництво:
SPIE Publications
Мова:
english
Сторінки:
493
ISBN 10:
0819475602
ISBN 13:
9780819475602
Серії:
SPIE Press Monograph PM190
Файл:
PDF, 29.27 MB
Ваші теги:
IPFS:
CID , CID Blake2b
english, 2009
Читати Онлайн
- Завантажити
- pdf 29.27 MB Current page
- Checking other formats...
- Конвертувати в
- Розблокуйте контевтування файлів розміром більше 8 МБPremium
Чи бажаєте додати книгарню? Зв'яжіться з нами за support@z-lib.do
Напротязі 1-5 хвилин файл буде доставлено на ваш email.
Напротязі 1-5 хвилин файл буде доставлено на ваш Telegram акаунт.
Увага: переконайтесь, що ви прив'язали свій акаунт до Z-Library Telegram боту.
Напртязі 1-5 хвилин файл буде доставлений на ваш Kindle пристрій.
Примітки: вам необхідно верифікувати кожну книгу, яку Ви надсилаєте на Kindle. Перевірте Вашу електронну скриньку на наявність листів з підтвердженням від Amazon Kindle Support.
Виконується конвертація в
Конвертація в не вдалась
Переваги Преміум статусу
- Надсилайте на електронні читалки
- Ліміт завантажень збільшений
- Конвертуйте файли
- Більше результатів пошуку
- Інші переваги